中国晶圆厂截至2026年初已购入约343台DUVi设备，其中约270台来自ASML
Center for Technology & Statecraft的一份报告称，中国芯片制造商截至2026年初已购入约343台DUVi设备，其中约270台来自ASML。DUV设备虽然不如EUV系统先进，但据报告称，可经过调整用于制造7纳米逻辑芯片和AI处理器所需的先进存储器。
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